Perluasan produksi silikon karbida mendorong pengembangan cepat peralatan khusus
Jul 28,2022
Perangkat daya silikon karbida sedang mempercepat penetrasi di bidang aplikasi otomotif dan lainnya, menunjukkan ruang pasar yang sangat besar dan menarik berbagai produsen untuk meningkatkan ekspansi produksi. Setelah garis 8-inci pertama Wolfspeed dimasukkan ke dalam produksi, Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba baru-baru ini ekspansi dan konstruksi baru jalur produksi silikon karbida juga telah diumumkan.
Dibandingkan dengan jalur produksi wafer silikon tradisional, proses pembuatan silikon karbida membawa berbagai tuntutan pada peralatan.
Giuseppe Arena, Direktur Proyek Perangkat Tenaga Otomotif Stmicroelectronics, mengatakan bahwa karena sifat fisik dan kimia yang unik dari bahan-bahan bandgap lebar, proses pembuatan silikon karbida sangat berbeda dari perangkat listrik berbasis silikon tradisional dalam pertumbuhan epitaxial, implantasi ion, dan anil suhu tinggi. Modul seperti ruang khusus dirancang untuk mengontrol cacat dan meningkatkan produktivitas. Alat khusus juga diperlukan dalam etsa, penipisan dan tautan lainnya.
Saat proses dan peralatan matang, beberapa perusahaan IDM sedang mempertimbangkan untuk mengubah jalur produksi wafer silikon 6-inci yang sudah ketinggalan zaman menjadi jalur produksi silikon karbida. Pakar industri memperkirakan bahwa ia hanya membutuhkan 20 juta dolar AS untuk menyesuaikan proses dan membeli sejumlah kecil peralatan khusus. Transformasi jalur produksi semacam ini dapat diselesaikan.
Saat ini, Divisi Tenaga Kerja dan Spesialisasi telah mulai muncul di bidang ini, dan perusahaan-perusahaan seperti X-Fab telah menginjakkan kaki dalam bisnis pengecoran silikon karbida.
CLAS-SIC, yang terletak di Skotlandia, Inggris, mengoperasikan jalur produksi silicon carbide foundry 6-inci. 10-15% dari jalur produksi adalah peralatan silikon karbida khusus, dan sebagian besar peralatan yang tersisa diperbaharui dari jalur produksi wafer silikon. Perusahaan bertanggung jawab atas Rae Hyndman, industri silikon karbida juga menghadapi kemacetan pengiriman saat membeli peralatan bekas.
Pasar Silicon Carbide menjanjikan, dan juga menarik produsen peralatan untuk meningkatkan investasi di bidang ini. David Haynes, seorang ahli teknis di Fanlin, mengatakan bahwa tantangan umum yang dihadapi oleh peralatan yang dikembangkan untuk proses wafer silikon saat memproses substrat silikon karbida adalah yang terakhir. Hampir transparan di daerah yang terlihat dan dekat-inframerah, modul deteksi perlu dioptimalkan.
Raksasa peralatan lain, bahan terapan, juga telah meluncurkan sejumlah peralatan silikon karbida khusus. Peralatan CMP -nya yang dirancang untuk sifat fisik dan kimia khusus silikon karbida dikatakan secara signifikan mengurangi cacat permukaan wafer silikon karbida, menurut Sally Ann Henry, direktur pengembangan bisnis Shengmei Company. Mengatakan bahwa Pasar Peralatan Khusus Silicon Carbide saat ini masih dalam tahap awal pengembangan, dan sebagian besar IDM masih mengoperasikan lini produksi 6-inci. (Alat jembatan) akan sangat menarik. Peralatan semacam itu dapat diperkenalkan di lini produksi 6-inci terlebih dahulu. Karena dilengkapi dengan modul deteksi paling canggih, ia dapat dengan cepat beradaptasi dengan jalur produksi 8-inci di masa depan setelah mengganti modul fixture, memuat dan membongkar. Kabel.
Dibandingkan dengan jalur produksi wafer silikon tradisional, proses pembuatan silikon karbida membawa berbagai tuntutan pada peralatan.
Giuseppe Arena, Direktur Proyek Perangkat Tenaga Otomotif Stmicroelectronics, mengatakan bahwa karena sifat fisik dan kimia yang unik dari bahan-bahan bandgap lebar, proses pembuatan silikon karbida sangat berbeda dari perangkat listrik berbasis silikon tradisional dalam pertumbuhan epitaxial, implantasi ion, dan anil suhu tinggi. Modul seperti ruang khusus dirancang untuk mengontrol cacat dan meningkatkan produktivitas. Alat khusus juga diperlukan dalam etsa, penipisan dan tautan lainnya.
Saat proses dan peralatan matang, beberapa perusahaan IDM sedang mempertimbangkan untuk mengubah jalur produksi wafer silikon 6-inci yang sudah ketinggalan zaman menjadi jalur produksi silikon karbida. Pakar industri memperkirakan bahwa ia hanya membutuhkan 20 juta dolar AS untuk menyesuaikan proses dan membeli sejumlah kecil peralatan khusus. Transformasi jalur produksi semacam ini dapat diselesaikan.
Saat ini, Divisi Tenaga Kerja dan Spesialisasi telah mulai muncul di bidang ini, dan perusahaan-perusahaan seperti X-Fab telah menginjakkan kaki dalam bisnis pengecoran silikon karbida.
CLAS-SIC, yang terletak di Skotlandia, Inggris, mengoperasikan jalur produksi silicon carbide foundry 6-inci. 10-15% dari jalur produksi adalah peralatan silikon karbida khusus, dan sebagian besar peralatan yang tersisa diperbaharui dari jalur produksi wafer silikon. Perusahaan bertanggung jawab atas Rae Hyndman, industri silikon karbida juga menghadapi kemacetan pengiriman saat membeli peralatan bekas.
Pasar Silicon Carbide menjanjikan, dan juga menarik produsen peralatan untuk meningkatkan investasi di bidang ini. David Haynes, seorang ahli teknis di Fanlin, mengatakan bahwa tantangan umum yang dihadapi oleh peralatan yang dikembangkan untuk proses wafer silikon saat memproses substrat silikon karbida adalah yang terakhir. Hampir transparan di daerah yang terlihat dan dekat-inframerah, modul deteksi perlu dioptimalkan.
Raksasa peralatan lain, bahan terapan, juga telah meluncurkan sejumlah peralatan silikon karbida khusus. Peralatan CMP -nya yang dirancang untuk sifat fisik dan kimia khusus silikon karbida dikatakan secara signifikan mengurangi cacat permukaan wafer silikon karbida, menurut Sally Ann Henry, direktur pengembangan bisnis Shengmei Company. Mengatakan bahwa Pasar Peralatan Khusus Silicon Carbide saat ini masih dalam tahap awal pengembangan, dan sebagian besar IDM masih mengoperasikan lini produksi 6-inci. (Alat jembatan) akan sangat menarik. Peralatan semacam itu dapat diperkenalkan di lini produksi 6-inci terlebih dahulu. Karena dilengkapi dengan modul deteksi paling canggih, ia dapat dengan cepat beradaptasi dengan jalur produksi 8-inci di masa depan setelah mengganti modul fixture, memuat dan membongkar. Kabel.